2016 г., Том 21, № 2, с.88-97

Предложен алгоритм решения нелинейных задач многокомпонентной диффузии, встречающихся в технологических приложениях. Возможности алгоритма проиллюстрированы с помощью модельной задачи диффузии в четырехкомпонентной системе. Приводится пример задачи о росте покрытия при осаждении из плазмы. В модели формирования состава покрытия учитываются перекрестные диффузионные потоки и зависимость коэффициентов от температуры и состава. Параметры модели могут изменяться в широких пределах. Традиционные алгоритмы численной реализации подобных моделей оказываются неустойчивыми и приводят к появлению отрицательных концентраций.