Информация о статье

1997 г., Том 2, № 6, с.12-23

Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.

Численная оптимизация плазмохимического реактора

В работе приводятся результаты оптимизационных расчетов плазмохимических реакторов травления (ПХР), используемых в производстве микроэлектронных схем. Образование активной среды рассматривалось как результат процессов диссоциации электронным ударом и объемной рекомбинации. Движение газовой смеси в реакторах моделировалось уравнениями Навье-Стокса. Исследовалась зависимость однородности травления от геометрии кольцевого протектора образца. Показано, что основное влияние на однородность обработки оказывает распределение диффузионных потоков в объеме реактора. Найдены оптимальные размеры протектора для всего диапазона режимов. Результаты расчетов позволяют оптимизировать показатель неоднородности травления для рассмотренных конструктивных схем ПХР.

[полный текст] Классификатор Msc2000:
*76V05 Течения с химическими реакциями

Ключевые слова: течение газа, перенос вещества

Библиографическая ссылка:
Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Численная оптимизация плазмохимического реактора // Вычислительные технологии. 1997. Т. 2. № 6. С. 12-23
Главная| Цели| Редколлегия| Содержание| Поиск| Подписка| Правила| Контакты
ISSN 1560-7534
© 2024 ФИЦ ИВТ, Новосибирск