2008 г., Том 13, № 1, с.22-30

Описана численная модель тлеющего ВЧ-разряда в силановой плазме на основе метода частиц в ячейках. Представлена новая модификация метода частиц, базирующаяся на адаптивном изменении масс модельных частиц. Показано, что моделирование рекомбинации положительных ионов происходит с более низким уровнем нефизических шумов при использовании представленной модификации метода частиц. Результаты численных расчетов сравниваются с экспериментальными данными и результатами моделирования на основе гидродинамического подхода. Расчеты проведены на кластере НКС-160 (Сибирский суперкомпьютерный центр, г. Новосибирск).