|
Информация о статье
2011 г., Том 16, № 3, с.83-90
Рычков А.Д., Шокин Ю.И., Пронькин С.Н., Лисейкин В.Д., Кофанов А.В.
Численное моделирование процесса формирования нанопор в пленке оксида алюминия
Рассматривается задача о моделировании процесса роста нанопоры в оксидной пленке алюминия в условиях, когда на поверхности пленки возникли трещины в виде упорядоченных структур. В этих трещинах под воздействием электрического поля протекают химические реакции растворения и образования оксида, которые и определяют процесс формирования нанопор. Для численного решения уравнения Лапласа в нанопоре с подвижными границами используется криволинейная разностная сетка, построенная на основе уравнений Бельтрами. Результаты численного моделирования показали наличие существенного влияния неоднородости в распределении напряженности электрического поля вдоль поверхности нанопоры на скорость ее роста и на формирование ее поверхности
[полный текст]
Ключевые слова: численное моделирование, решение уравнения Лапласа в сложных областях, построение криволинейных сеток, образование нанопор
Библиографическая ссылка:
Рычков А.Д., Шокин Ю.И., Пронькин С.Н., Лисейкин В.Д., Кофанов А.В. Численное моделирование процесса формирования нанопор в пленке оксида алюминия // Вычислительные технологии. 2011. Т. 16. № 3. С. 83-90
|
|
|
|
