Информация о статье

2013 г., Том 18, № 5, с.58-73

Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.

Численная модель ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе

Рассматривается численная модель аксиально-симметричного высокочастотного разряда в гидродинамическом приближении. Для решения уравнений непрерывности для электронов и ионов и уравнения энергии электронов использована неявная экспоненциальная разностная схема, обеспечивающая положительные значения электронной температуры и концентраций плазменных компонентов. Разработанный алгоритм расчёта ВЧ-разряда замыкает численную модель плазмохимического травления, созданную в предыдущих работах авторов.

[полный текст]
Ключевые слова: высокочастотный разряд, гидродинамическая модель, плазмохимическое травление

Библиографическая ссылка:
Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Численная модель ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе // Вычислительные технологии. 2013. Т. 18. № 5. С. 58-73
Главная| Цели| Редколлегия| Содержание| Поиск| Подписка| Правила| Контакты
ISSN 1560-7534
© 2024 ФИЦ ИВТ, Новосибирск