| Инд. авторы: | Gorobchuk A.G. |
| Заглавие: | Numerical model of plasma-chemical etching technology |
| Библ. ссылка: | Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching technology // Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики - 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука (Новосибирск, 19-23 октября 2015 г.): Тезисы / ИВМиМГ СО РАН. - 2015. - Новосибирск: Академиздат. - С.128-129. - ISBN: 978-5-9907241-5-0. |
| Издано: | 2015 |
| Физ. характеристика: | с.128-129 |
| Конференция: | Название: Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука Аббревиатура: AMCA-2015 Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2015-10-19 - 2015-10-23 Ссылка: http://conf.ict.nsc.ru/amca15/general_info |
