Информация о публикации

Просмотр записей
Инд. авторы: Горобчук А.Г.
Заглавие: Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники
Библ. ссылка: Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: автореферат дис. .. доктора физико-математических наук: 05.13.18 / [Место защиты: Ин-т вычисл. технологий СО РАН, дата защиты: 17 февраля 2017 г.]. - 2016. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - 35 с. - http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/autoref_gorobchuk.pdf
Издано: Новосибирск: ИВТ СО РАН, 2016
Физ. характеристика: 35
Ссылка: http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/autoref_gorobchuk.pdf