| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Математическое моделирование технологических процессов плазмохимического травления |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Математическое моделирование технологических процессов плазмохимического травления // Марчуковские научные чтения-2017: Тезисы / Ответственные за выпуск: И.М. Куликов, М.А. Боронина. - 2017. - Новосибирск: ИВМиМГ, Омега Принт. - С.171. - ISBN: 978-5-91907-041-2. |
| Издано: | Novosibirsk: , 2017 |
| Физ. характеристика: | с.171 |
| Конференция: | Название: Марчуковские научные чтения-2017 Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2017-06-25 - 2017-07-14 |


