Информация о публикации

Просмотр записей
Инд. авторы: Горобчук А.Г.
Заглавие: Математическое моделирование технологических процессов плазмохимического травления
Библ. ссылка: Горобчук А.Г. Математическое моделирование технологических процессов плазмохимического травления // Марчуковские научные чтения-2017: Тезисы / Ответственные за выпуск: И.М. Куликов, М.А. Боронина. - 2017. - Новосибирск: ИВМиМГ, Омега Принт. - С.171. - ISBN: 978-5-91907-041-2.
Издано: Novosibirsk: , 2017
Физ. характеристика: с.171
Конференция: Название: Марчуковские научные чтения-2017
Город: Новосибирск
Страна: Россия
Даты проведения: 2017-06-25 - 2017-07-14