| Инд. авторы: | Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике |
| Библ. ссылка: | Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике // Тезисы докладов XIII Международной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова: Новосибирск, 5-7 сентября 2017. - 2017. - Новосибирск. - С.53. |
| Издано: | 2017 |
| Физ. характеристика: | с.53 |
| Конференция: | Название: XIII Международная конференция, посвященная 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2017-09-05 - 2017-09-07 |
Новости
- Оформление публикаций, выполненных в рамках государственного задания Минобрнауки России 24.02.25
- Итоги молодежной конференции YM-2025 17.11.25
- В Красноярском филиале ФИЦ ИВТ состоялось Рабочее совещание с сотрудниками ЦУКС Главного управления МЧС России по Красноярскому краю 06.10.25
- Торжественное заседание Ученого совета, посвященное 35-летию со дня основания ФИЦ ИВТ 02.10.25
