Информация о публикации

Просмотр записей
Инд. авторы: Gorobchuk A.G.
Заглавие: Simulation of surface processes on Silicon in CF4/O2/H2 plasmas
Библ. ссылка: Gorobchuk A.G. Simulation of surface processes on Silicon in CF4/O2/H2 plasmas // 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2018): Abstracts. - 2018. - Tomsk: TPU Publishing House. - P.296.
Издано: 2018
Физ. характеристика: с.296
Конференция: Название: 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects
Аббревиатура: EFRE2018
Город: Tomsk
Страна: Russia
Даты проведения: 2018-09-16 - 2018-09-22