Информация о сотруднике

Горобчук Алексей Геннадьевич

Ученая степень:

доктор физико-математических наук

Должность:

старший научный сотрудник

Комната:

514

Почта:

gorobchuk@ict.sbras.ru

Телефон:

+7383 330-87-45

Вн. телефон:

11-33

Идентификация во внешних системах

РИНЦ:	68368 (Профиль)
Карта российской науки:	824802
SCOPUS:	6505970018
РИНЦ SPIN:	2930-1281

№	Индекс	Год	Библиографическая ссылка ( всего 95, показано с 1 )
1	62911	2018	Gorobchuk A.G. Simulation of surface processes on Silicon in CF4/O2/H2 plasmas // 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2018): Abstracts. - 2018. - Tomsk: TPU Publishing House. - P.296.
2	63038	2018	Gorobchuk A.G. Simulation of surface processes on silicon in CF₄/O₂/H₂ plasmas // Известия вузов. Физика. - 2018. - Т.61. - № 8-2. - С.73-76. - ISSN 0021-3411.
3	62906	2018	Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G., Ershov I.V. Numerical modeling laminar – turbulent transition in supersonic flow of relaxing gas on a plate // Abstracts of 19th International Conference on the Methods of Aerophysical Research. (August 13-19, 2018, Novosibirsk, Russia): Part I. - 2018. - Novosibirsk: Parallel. - P.96. - ISBN: 978-5-98901-216-6.
4	60436	2017	Gorobchuk A.G. Numerical modeling of plasma-chemical etching technologies // Ion – surface interactions (ISI–2017): Proceedings of the XXIII International Conference (Moscow, Russia, 21 – 25 August 2017). - 2017. - Moscow: National Research Nuclear University «MEPhI». - P.248-250.
5	60435	2017	Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике // Тезисы докладов XIII Международной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова: Новосибирск, 5-7 сентября 2017. - 2017. - Новосибирск. - С.53.
6	60434	2017	Горобчук А.Г. Математическое моделирование технологических процессов плазмохимического травления // Марчуковские научные чтения-2017: Тезисы / Ответственные за выпуск: И.М. Куликов, М.А. Боронина. - 2017. - Новосибирск: ИВМиМГ, Омега Принт. - С.171. - ISBN: 978-5-91907-041-2.
7	59013	2016	Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: автореферат дис. .. доктора физико-математических наук : 05.13.18 / [Место защиты: Ин-т вычисл. технологий СО РАН, дата защиты: 17 февраля 2017 г.]. - 2016. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - 35 с. - http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/autoref_gorobchuk.pdf
8	59014	2016	Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.13.18 / [Место защиты: Ин-т вычисл. технологий СО РАН, дата защиты: 17 февраля 2017 г.]. - 2016. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/dissertation_gorobchuk_ag.pdf
9	56454	2015	Gorobchuk A.G. Numerical investigation of silicon surface polymerization in CF4/H2 plasma // Ion – surface interactions. ISI – 2015. Proceedings of the XXII International Conference (Moscow, Russia, August 20 - 24, 2015) . - 2015. - Moscow: National Research Nuclear University «MEPhI». - P.230-232. - ISBN: 978-5-7262-2124-3.
10	54486	2015	Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching of silicon in CF4/H2 plasma // Abstracts of the International Conference "Computational and Informational Technologies in Science, Ingenering and Education" (September 24-27, 2015) / Al-Farabi KazNU. - 2015. - Almaty: Al-Farabi KazNU. - P.127-128. - ISBN: 978-601-04-1389-4.
11	54596	2015	Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching of silicon in CF₄/H₂ plasma // Communications in Computer and Information Science. - 2015. - Vol.549. - P.44-52. - ISSN 1865-0929. - EISSN 1865-0937.
12	54555	2015	Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching technology // Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики - 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука (Новосибирск, 19-23 октября 2015 г.): Тезисы / ИВМиМГ СО РАН. - 2015. - Новосибирск: Академиздат. - С.128-129. - ISBN: 978-5-9907241-5-0.
13	54575	2015	Gorobchuk A. Numerical modeling of silicon processing technology in CF4/H2 plasma // 2015 International Siberian Conference on Control and Communications (SIBCON). Proceedings: Russia, Omsk, May 21−23, 2015. - 2015. - Omsk: Omsk State Technical University. - Art.7147029. - ISBN: 978-1-4799-7102-2.
14	55245	2015	Gorobchuk A. Simulation of the Polymerization on Silicon Surface in CF4/H2 Plasma // 12th International Conference “Gas Discharge Plasma and Their Applications” GDP-2015: Abstract (Томск, 6-11 сентября 2015). - 2015. - Tomsk: Publishing House of IAO SB RAS. - P.167.
15	54629	2015	Grigoryev Y.N., Gorobchuk A.G. Modeling of plasma-chemical etching technology in CF ₄/H ₂ mixture // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). - 2015. - Iss. 2. - P.134-140. - ISSN 2078-7707.
16	54463	2015	Grigoryev Y.N., Gorobchuk A.G. Simulation of the polymerization process on a silicon surface under plasma-chemical etching in CF4/H2 // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. - 2015. - Vol.9. - Iss. 1. - P.184-189. - ISSN 1027-4510. - EISSN 1819-7094.
17	54732	2015	Горобчук А.Г. Моделирование полимеризации поверхности кремния в плазме CF4/H2 // Известия вузов. Физика. - 2015. - Т.58. - № 9/3. - С.88. - ISSN 0021-3411.
18	57163	2015	Горобчук А.Г. Моделирование полимеризации поверхности кремния в плазме cf ₄/h ₂ // Известия вузов. Физика. - 2015. - Т.58. - № 9-3. - С.88-91. - ISSN 0021-3411.
19	54160	2015	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование процесса полимеризации поверхности кремния при плазмохимическом травлении в CF₄/H₂ // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2015. - № 2. - С.81-86. - ISSN 0207-3528.
20	53288	2014	Grigoriev Y.N., Gorobchuk A.G. Effect of HF discharge structure on etch nonuniformity in plasma-chemical reactor // Russian Microelectronics. - 2014. - Vol.43. - Iss. 1. - P.34-41. - ISSN 1063-7397. - EISSN 1608-3415.

ФИЦ ИВТ

Информация о сотруднике

Горобчук Алексей Геннадьевич

Идентификация во внешних системах

Публикации (95)

Проекты (9)

010 - Гранты Президента Российской Федерации

010.010 - Государственная поддержка ведущих научных школ

020 - Фундаментальные научные исследования (базовые темы)

070 - Программы и проекты СО РАН

070.010 - Интеграционные проекты СО РАН

070.010.010 - Междисциплинарные интеграционные проекты

080 - Российский фонд фундаментальных исследований

080.010 - Инициативные проекты

Конференции (13)

Автор доклада

Новости

Другие новости