Горобчук Алексей Геннадьевич
Ученая степень:
доктор физико-математических наук
Должность:
старший научный сотрудник
Комната:
514
Почта:
gorobchuk@ict.sbras.ru
Телефон:
+7383 330-87-45
Вн. телефон:
11-33
Идентификация во внешних системах
РИНЦ: | 68368 (Профиль) |
Карта российской науки: | 824802 |
SCOPUS: | 6505970018 |
РИНЦ SPIN: | 2930-1281 |
Публикации (98)
Источник: | Год: | Есть в: | Тип: | Порция: |
№ | Индекс | Год | Библиографическая ссылка ( всего 98, показано с 1 ) |
---|---|---|---|
1 | 65242 | 2020 | Grigoryev Y.N., Gorobchuk A.G., Ershov I.V. To Calculation of a Stationary Boundary Layer under Conditions of Strong Thermochemical Nonequilibrium // AIP Conference Proceedings. - 2020. - Vol.2288. - Art.030003. - ISSN 0094-243X. |
2 | 65005 | 2020 | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г., Ершов И.В Расчеты сверхзвукового пограничного слоя в полной и локально автомодельной постановках // Вычислительные технологии. - 2020. - Т.25. - № 2. - С.50-62. - ISSN 1560-7534. - EISSN 2313-691X. |
3 | 65310 | 2020 | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г., Ершов И.В. Численное исследование пограничного слоя в условиях сильной термохимической неравновесности // IX Международная конференция «Лаврентьевские чтения по математике, механике и физике», посвященная 120-летию академика М. А. Лаврентьева: Тезисы докладов (Новосибирск, 07.09-11.09.2020). - 2020. - Новосибирск: Институт гидродинамики им. М.А. Лаврентьева. - С.88. - ISBN: 978-5-94671-033-6. |
4 | 62911 | 2018 | Gorobchuk A.G. Simulation of surface processes on Silicon in CF4/O2/H2 plasmas // 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2018): Abstracts. - 2018. - Tomsk: TPU Publishing House. - P.296. |
5 | 63038 | 2018 | Gorobchuk A.G. Simulation of surface processes on silicon in CF4/O2/H2 plasmas // Известия вузов. Физика. - 2018. - Т.61. - № 8-2. - С.73-76. - ISSN 0021-3411. |
6 | 62906 | 2018 | Grigoryev Yu.N., Gorobchuk A.G., Ershov I.V. Numerical modeling laminar – turbulent transition in supersonic flow of relaxing gas on a plate // Abstracts of 19th International Conference on the Methods of Aerophysical Research. (August 13-19, 2018, Novosibirsk, Russia): Part I. - 2018. - Novosibirsk: Parallel. - P.96. - ISBN: 978-5-98901-216-6. |
7 | 60436 | 2017 | Gorobchuk A.G. Numerical modeling of plasma-chemical etching technologies // Ion – surface interactions (ISI–2017): Proceedings of the XXIII International Conference (Moscow, Russia, 21 – 25 August 2017). - 2017. - Moscow: National Research Nuclear University «MEPhI». - P.248-250. |
8 | 60435 | 2017 | Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических процессов в микроэлектронике // Тезисы докладов XIII Международной конференции, посвященной 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова: Новосибирск, 5-7 сентября 2017. - 2017. - Новосибирск. - С.53. |
9 | 60434 | 2017 | Горобчук А.Г. Математическое моделирование технологических процессов плазмохимического травления // Марчуковские научные чтения-2017: Тезисы / Ответственные за выпуск: И.М. Куликов, М.А. Боронина. - 2017. - Новосибирск: ИВМиМГ, Омега Принт. - С.171. - ISBN: 978-5-91907-041-2. |
10 | 59013 | 2016 | Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: автореферат дис. .. доктора физико-математических наук : 05.13.18 / [Место защиты: Ин-т вычисл. технологий СО РАН, дата защиты: 17 февраля 2017 г.]. - 2016. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - 35 с. - http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/autoref_gorobchuk.pdf |
11 | 59014 | 2016 | Горобчук А.Г. Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: 05.13.18 / [Место защиты: Ин-т вычисл. технологий СО РАН, дата защиты: 17 февраля 2017 г.]. - 2016. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - http://www.ict.nsc.ru/sites/default/files/discouncil/Enlist/Gorobchuk_AG_2016/dissertation_gorobchuk_ag.pdf |
12 | 56454 | 2015 | Gorobchuk A.G. Numerical investigation of silicon surface polymerization in CF4/H2 plasma // Ion – surface interactions. ISI – 2015. Proceedings of the XXII International Conference (Moscow, Russia, August 20 - 24, 2015) . - 2015. - Moscow: National Research Nuclear University «MEPhI». - P.230-232. - ISBN: 978-5-7262-2124-3. |
13 | 54486 | 2015 | Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching of silicon in CF4/H2 plasma // Abstracts of the International Conference "Computational and Informational Technologies in Science, Ingenering and Education" (September 24-27, 2015) / Al-Farabi KazNU. - 2015. - Almaty: Al-Farabi KazNU. - P.127-128. - ISBN: 978-601-04-1389-4. |
14 | 54596 | 2015 | Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching of silicon in CF4/H2 plasma // Communications in Computer and Information Science. - 2015. - Vol.549. - P.44-52. - ISSN 1865-0929. - EISSN 1865-0937. |
15 | 54555 | 2015 | Gorobchuk A.G. Numerical model of plasma-chemical etching technology // Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики - 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука (Новосибирск, 19-23 октября 2015 г.): Тезисы / ИВМиМГ СО РАН. - 2015. - Новосибирск: Академиздат. - С.128-129. - ISBN: 978-5-9907241-5-0. |
16 | 54575 | 2015 | Gorobchuk A. Numerical modeling of silicon processing technology in CF |
17 | 55245 | 2015 | Gorobchuk A. Simulation of the Polymerization on Silicon Surface in CF4/H2 Plasma // 12th International Conference “Gas Discharge Plasma and Their Applications” GDP-2015: Abstract (Томск, 6-11 сентября 2015). - 2015. - Tomsk: Publishing House of IAO SB RAS. - P.167. |
18 | 54629 | 2015 | Grigoryev Y.N., Gorobchuk A.G. Modeling of plasma-chemical etching technology in CF 4/H 2 mixture // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС). - 2015. - Iss. 2. - P.134-140. - ISSN 2078-7707. |
19 | 54463 | 2015 | Grigoryev Y.N., Gorobchuk A.G. Simulation of the polymerization process on a silicon surface under plasma-chemical etching in CF4/H2 // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. - 2015. - Vol.9. - Iss. 1. - P.184-189. - ISSN 1027-4510. - EISSN 1819-7094. |
20 | 54732 | 2015 | Горобчук А.Г. Моделирование полимеризации поверхности кремния в плазме CF4/H2 // Известия вузов. Физика. - 2015. - Т.58. - № 9/3. - С.88. - ISSN 0021-3411. |
Проекты (10)
010 - Гранты Президента Российской Федерации
010.010 - Государственная поддержка ведущих научных школ
- НШ-7214.2016.9 (2016-01-01 - 2017-12-31)
Разработка, адаптация и исследование новых информационных и вычислительных технологий в задачах поддержки принятия решений - НШ-5006.2014.9 (2014-01-01 - 2015-12-31)
Разработка, адаптация и исследование новых информационных и вычислительных технологий в задачах поддержки и принятия решений - НШ-6293.2012.9 (2012-01-01 - 2013-12-31)
Разработка информационно-вычислительных технологий поддержки принятия решений
- НШ-7214.2016.9 (2016-01-01 - 2017-12-31)
020 - Фундаментальные научные исследования (базовые темы)
- АААА-А17-117120670140-0 (2017-01-01 - 2020-12-31)
Базовая тема № 1 «Разработка и исследование новых элементов вычислительной технологии решения фундаментальных и прикладных задач аэро-, гидро- и волновой динамики» - IV.36.1.4 (2012-01-01 - 2016-12-31)
Вычислительные технологии, математические модели и методы оптимизации в задачах проектирования, прогноза и анализа поведения сложных технических и природных систем - IV.29.1.1 (2010-01-01 - 2012-12-31)
Математическое моделирование в задачах анализа, проектирования и оптимизации технических систем и технологических процессов
- АААА-А17-117120670140-0 (2017-01-01 - 2020-12-31)
070 - Программы и проекты СО РАН
070.010 - Интеграционные проекты СО РАН
070.010.010 - Междисциплинарные интеграционные проекты
- 12 (2012-01-01 - 2014-12-31)
Математическое моделирование восходящего движения магм в литосфере
- 12 (2012-01-01 - 2014-12-31)
080 - Российский фонд фундаментальных исследований
080.010 - Инициативные проекты
- 20-01-00168-а (2020-01-01 - 2022-12-31)
Исследование сверхзвуковых течений газовых смесей в условиях сильной термохимической неравновесности - 17-01-00209-а (2017-01-01 - 2019-12-31)
Математическое моделирование актуальных проблем течений релаксирующих и химически реагирующих газов - 14-01-00274-а (2014-01-01 - 2016-12-31)
Исследование воздействия молекулярно-кинетических процессов на гидродинамическую устойчивость и перенос в газовых средах
- 20-01-00168-а (2020-01-01 - 2022-12-31)
Конференции (15)
Автор доклада
- 9th International Conference on Lavrentyev Readings on Mathematics, Mechanics and Physics. - (2020-09-07 - 2020-09-11). - Novosibirsk. - Russia
- HEPCM 2020 - 27th Conference on High-Energy Processes in Condensed Matter. - (2020-06-29 - 2020-07-03). - Novosibirsk. - Russia
- EFRE2018 - 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects. - (2018-09-16 - 2018-09-22). - Tomsk. - Russia
- ICMAR 2018 - XIX Международная конференция по методам аэрофизических исследований. - (2018-08-13 - 2018-08-19). - Новосибирск. - Россия
- XIII Международная конференция, посвященная 100-летию со дня рождения академика М. Ф. Жукова. - (2017-09-05 - 2017-09-07). - Новосибирск. - Россия
- ВИП 2017 - XXIII Международная конференция "Взаимодействие ионов с поверхностью". - (2017-08-21 - 2017-08-25). - Москва. - Россия
- Марчуковские научные чтения-2017. - (2017-06-25 - 2017-07-14). - Новосибирск. - Россия
- AMCA-2015 - Международная конференция «Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики 2015», посвященная 90-летию со дня рождения академика Гурия Ивановича Марчука. - (2015-10-19 - 2015-10-23). - Новосибирск. - Россия
- CITech-2015 - International Conference «Computational and Informational Technologies in Science, Engineering and Education». - (2015-09-24 - 2015-09-27). - Алма-Ата. - Казахстан
- GDP-2015 - 12th International Conference “Gas Discharge Plasma and Their Applications” . - (2015-09-06 - 2015-09-11). - Tomsk. - Russia
- ISI-2015 - XXII International Conference "Ion – surface interactions". - (2015-08-20 - 2015-08-24). - Moscow. - Russia
- SIBCON-2015 - XI Международная IEEE Сибирская конференция по управлению и связи. - (2015-05-20 - 2015-05-22). - Омск. - Россия
- ICMAR 2014 - 17th International Conference on the Methods of Aerophysical Research. - (2014-06-30 - 2014-07-06). - Novosibirsk. - Russia
- AMCA-2014 - Актуальные проблемы вычислительной и прикладной математики 2014. - (2014-06-08 - 2014-06-11). - Новосибирск. - Россия
- SIBCON-2013 - 2013 International Siberian Conference on Control and Communications, SIBCON 2013. - (2013-09-12 - 2013-09-13). - Krasnoyarsk. - Russia